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Eine Halbleitervorrichtung weist ein Halbleitersubstrat, einen Flusssensor, der eine erste Erwärmungseinrichtung aufweist, zum Erfassen einer Flussrate von Fluid und einen Feuchtigkeitssensor zum Erfassen einer Feuchtigkeit des Fluids auf. Der Flusssensor und der Feuchtigkeitssensor sind auf dem Halbleitersubstrat angeordnet. Der Flusssensor ist um den Feuchtigkeitssensor angeordnet. Der Feuchtigkeitssensor ist auf einer vorgelagerten Seite der ersten Erwärmungseinrichtung angeordnet. Da die Vorrichtung den Feuchtigkeitssensor beinhaltet, wird Feuchtigkeit in dem Fluid derart kompensiert, dass eine Erfassungsgenauigkeit der Flussrate verbessert wird.
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