放射线检测元件及其制造方法

摘要

将受光元件2二维排列在基板上，把用信号线3与各行或各列受光元件2电连接的焊盘4排列在基板1的外周边上，在受光元件2和信号线3上设置保护用的钝化膜5，形成受光元件阵列6。将CsI柱状晶体的闪烁器7沉积在该受光元件阵列6的受光面上，并在其上沉积Al无机膜9夹在Parylene制的有机膜8、10之间作为保护膜11。在使焊盘4露出的位置把保护膜11的外周切开，并用覆盖树脂12密合在钝化膜5上。

主权项

1.一种放射线检测元件，包括：受光元件阵列，其多个受光元件在基板上呈一维或二维排列形成其受光单元，并将与所述受光单元的各行或各列的所述受光元件电连接的多个焊盘配置在所述受光单元的外部；闪烁器层，该闪烁器层在所述受光元件上层积形成，把放射线转换成可见光；放射线可通过的耐湿保护膜，该耐湿保护膜由至少包含有机膜和在其上沉积的无机膜的两层以上的多层膜组成，该耐湿保护膜在覆盖了闪烁器层的同时使所述受光元件阵列的所述焊盘部分露出；以及覆盖树脂，沿所述耐湿保护膜和受光元件阵列露出部分的边界用所述覆盖树脂涂敷耐湿保护膜，使所述耐湿保护膜的边缘密合在所述受光元件阵列上。