发明名称 Fremgangsmåde samt anordning til kontinuerlig behandling af genstande
摘要
申请公布号 DK1032023(T3) 申请公布日期 2008.01.07
申请号 DK20000102733T 申请日期 2000.02.10
申请人 SCHOTT SOLAR GMBH 发明人 LAUINGER, THOMAS;ABERLE, ARMIN;AUER, RICHARD;HALBACH, GUIDO;KANNE, MANUEL;PASCHKE, HANNO;MOSCHNER, JENS
分类号 H01L21/00;B65G49/07;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/677 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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