用于制程真空环境之电子诊断之系统及方法

摘要

根据本发明之一实施例，其系揭示一种辨识与一工具有关之真空环境中之一真空品质问题的来源之方法。该方法包括收集并储存真空环境资料；辨识在该真空环境内之一异常现象；判断在该异常现象很可能发生时之一工具构件的操作状态；以及根据该异常现象很可能发生时之一真空环境状态与该工具构件的操作状态来判断该真空品质问题的来源。