半导体装置测试器接脚接触电阻量测

摘要

一种接触电阻量测电路，配置来决定测试装置的接触电阻。此量测电路系耦接至处理电路及测试装置。此量测电路包括经由传递装置而耦接在一起之一对输入/输出单元。每一输入/输出单元包括上拉装置及下拉装置，用以分别提供分离的上拉及下拉控制。上拉装置、下拉装置、以及传递装置系动态地可配置成使得此量测电路使用上拉模式或下拉模式，以量测测试装置的每一接触点，或接脚之电压及电流特征。处理电路依据所量测出的电压及电流特征计算每一接脚的接触电阻。所计算出的接触电阻系用来校正测试装置。