发明名称 Elektrische Ermittlung der Dicke von Halbleitermembranen durch Energieeintrag
摘要
申请公布号 DE112005002169(A5) 申请公布日期 2007.07.12
申请号 DE200511002169T 申请日期 2005.10.20
申请人 X-FAB SEMICONDUCTOR FOUNDRIES AG 发明人 HERING, SIEGFRIED;HOELZER, GISBERT
分类号 G01B21/08;G01N25/18 主分类号 G01B21/08
代理机构 代理人
主权项
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