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发明名称
摘要
申请公布号 JPS4710458(U) 申请公布日期 1972.10.07
申请号 JP19710015158U 申请日期 1971.03.09
申请人 发明人
分类号 H05B3/62;F27B3/24;F27D1/12;F27D11/02;H01K7/00;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;H05B1/00;H05B3/00;H05B7/00;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H05B3/62
代理机构 代理人
主权项
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