| 发明名称 |
METHOD FOR THE DETECTION OF DECOMPOSITION PROCESSES |
| 摘要 |
<p>Vorrichtung zur Detektion und Charakterisierung von Abbauprozessen mit - einem Sensor-Array (10), - mehreren auf dem Sensor-Array (10) angeordneten Substratbereichen 5 (12) zur Aufnahme von Untersuchungssubstraten (14), - mehreren jeweils einem und/oder mehreren Substratbereichen (12) zugeordneten Sensoren (16) und - einem mit den Sensoren (16) verbundenen elektronischen Komponente (22) zum Auslesen von Sensorsignalen.</p> |
| 申请公布号 |
WO2007057473(A1) |
申请公布日期 |
2007.05.24 |
| 申请号 |
WO2006EP68724 |
申请日期 |
2006.11.21 |
| 申请人 |
HOFFMANN, KURT;GRUBER, MARKUS |
发明人 |
HOFFMANN, KURT;GRUBER, MARKUS |
| 分类号 |
G01N33/543 |
主分类号 |
G01N33/543 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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