发明名称 Method and apparatus for manufacturing high concentration ozone gas
摘要
申请公布号 EP0949197(B1) 申请公布日期 2006.11.15
申请号 EP19990302544 申请日期 1999.03.31
申请人 MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD. 发明人 IZUMI, JUN;YASUTAKE, AKINORI;TOMONAGA, NARIYUKI;TSUTAYA, HIROYUKI
分类号 C01B13/10;B01D53/04;B01D53/047 主分类号 C01B13/10
代理机构 代理人
主权项
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