| 摘要 |
一种溅镀装置，系一边使圆盘状基板在旋转轴线周围旋转，一边对此基板表面进形成膜处理；其特征系具备室，和使上述基板以上述旋转轴线为中心旋转的桌台，和具有与上述基板相对之阴极表面的溅镀阴极；若将从上述旋转轴线到上述基板之外周缘部为止的距离作为R，从上述旋转轴线到上述阴极表面中心点为止的距离作为OF，从上述基板表面到上述阴极表面中心点为止的高度作为TS，则大约满足R：OF：TS＝100：175：190±20的关系；同时使上述旋转轴线与通过上述阴极表面之中心点的法线交叉，其交叉角度满足22°±2°。 |
