发明名称 DETECTION AND SUPPRESSION OF ELECTRICAL ARCING
摘要
申请公布号 KR20060092863(A) 申请公布日期 2006.08.23
申请号 KR20050081986 申请日期 2005.09.03
申请人 APPLIED MATERIALS INC. 发明人 ANWAR SUHAIL;MANACIO REMEGIO;PARK, CHUNG HEE;YIM, DONG KIL;CHOI, SOO YOUNG
分类号 G01R31/12;H02H3/00 主分类号 G01R31/12
代理机构 代理人
主权项
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