发明名称 METHOD FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20060076674(A) 申请公布日期 2006.07.04
申请号 KR20040115437 申请日期 2004.12.29
申请人 SILTRON INC. 发明人 KIM, IN KYUM;LEE, DONG KUN
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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