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发明名称 APPARATUS FOR ROTATING A WAFER
摘要
申请公布号 KR20060061448(A) 申请公布日期 2006.06.08
申请号 KR20040100190 申请日期 2004.12.02
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 SEO, YOUNG DONG;LEE, JAE CHUL;HA, SANG CHEOL;KIM, HWA SIK;KIM, SUNG GIL
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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