石英晶圆切割机的带锯夹持结构

摘要

本实用新型公开了一种石英晶圆切割机的带锯夹持结构，由一机台、至少一致动元件及一带锯所构成，该机台具有工作区间及平台；该致动元件设置于机台内；该带锯具有一平面部及一锯齿部，且与致动元件连接，并由工作区间穿过于平台上；于机台内且邻近于工作区间二端的位置处分别设置至少一夹持单元，而该夹持单元夹持于带锯的二平面上，且该夹持单元的二侧分别设置有一顶持件，使该夹持单元与带锯的二平面保持一定的间距。由此，可使该带锯于切割时具有定位、高平整度、偏摆幅度小以及不易扭曲的功效，而达到增加切割速度及延长带锯寿命的效果。

主权项

1.一种石英晶圆切割机的带锯夹持结构，该切割机包括有：一机台，该机台具有一工作区间，且该工作区间的一面具有一平台；至少一致动元件，设置于机台内；一带锯，具有一平面部及一锯齿部，该带锯设置于机台内且与致动元件连接，并由工作区间穿过于平台上；其特征在于：该机台内且邻近于工作区间二端的位置处分别设置至少一夹持单元，而该夹持单元夹持于带锯的二平面上，且该夹持单元的二侧分别设置有一顶持件，构成该夹持单元与带锯的二平面保持一定的间距。