检视系统

摘要

一种检视系统，用于对一基板上细微物件进行三维检视，该系统包括：一校正模组，用以校正检视角以捕捉该等物件的歪斜影像，校正该检视角时会利用一物件作为基准；至少一影像捕捉器，用以捕捉该等物件的第一影像，以及用以捕捉该等物件的歪斜影像；以及一影像处理器，用于利用该第一影像来决定该等物件的位置，以及利用该歪斜影像与该第一影像来决定该等物件的高度，其中，倘若某物件的高度不在预设准则内的话，其便会被归类为有缺陷的物件，并且会确认有缺陷物件的位置。