附有一可移动之平面靶件之喷洒装置及方法

摘要

一种于一真空室中具一可移动靶件装置之喷洒材料之装置，该靶件装置至少包含一能于平面移动之平面式、能与阴极相连之靶件，其具有一固定之靶件周围，一配备在靶件装置上之驱动装置，一至少含有一与该靶件所配备之阳极相连之阳极装置，及一固定上用以产生磁场之磁性装置，以便用于支持一靶件喷洒表面之材料削减，而此种装置至少设有一个非旋转对称之、尤其以长方形靶件平板所构成之靶件，其藉由靶件装置可于平面上移动。此外，本发明也包括一种用以喷洒材料之方法。