| 发明名称 |
Conductive polishing article for electrochemical mechanical polishing |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG117444(A1) |
申请公布日期 |
2005.12.29 |
| 申请号 |
SG20030002562 |
申请日期 |
2003.05.06 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
YONGQI HU;YAN WANG;ALAIN DUBOUST;LIU, FENG, Q.;RASHID MAVLIEV;LIANG-YUH CHEN;RATSON MORAD;SASSON SOMEKH |
| 分类号 |
C25D7/12;B23H5/08;B24B37/04;B24D13/14;C25F3/00;C25F3/30;C25F7/00;H01L21/304;(IPC1-7):B24B37/04 |
主分类号 |
C25D7/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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