Verfahren zur Erhöhung der Selektivität von FET-basierten Gassensoren

摘要

Verfahren zur Erhöhung der Selektivität eines FET-basierten Gassensors, bei dem zwischen dem zu detektierenden Gasgemisch und dem Gassensor mindestens ein zielgasdurchlässiger Filter mit großer aktiver Oberfläche vorhanden ist, der durch gewebeförmige Aktivkohle dargestellt wird und der zur Filterregeneration zeitweise auf eine Temperatur aufgeheizt wird, bei der adsorbierte Gase ausgetrieben werden, bzw. bei dem Filter zur Erhöhung der Lebensdauer mit einer durch Begrenzung der Gasdiffusion verringerten Analysegasmenge belastet werden.