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发明名称
ELEKTRONENSTRAHLRESIST
摘要
申请公布号
DE69917944(T2)
申请公布日期
2005.06.23
申请号
DE1999617944T
申请日期
1999.12.16
申请人
NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY, TOKIO/TOKYO;THE UNIVERSITY OF BIRMINGHAM, EDGBASTON
发明人
PALMER, RICHARD EDWARD;ROBINSON, ALEXANDER PHILLIP;KANAYAMA, TOSHIHIKO;TADA, TETSUYA
分类号
G03F7/004;G03F7/038;G03F7/32;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/038
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
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