发明名称 |
Kohärenzminderer |
摘要 |
Es wird ein Kohärenzminderer für einen Strahl mit einer vorbestimmten zeitlichen Kohärenzlänge bereitgestellt, der beispielsweise als Michelson-Interferometer ausgebildet sein kann, bei dem zumindest ein 0 DEG -Spiegel durch einen teiltransparenten Spiegel und einen weiteren Spiegel ersetzt ist, deren optischer Abstand mindestens der halben zeitlichen Kohärenzlänge entspricht.
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申请公布号 |
DE10335670(A1) |
申请公布日期 |
2005.03.03 |
申请号 |
DE20031035670 |
申请日期 |
2003.08.04 |
申请人 |
CARL ZEISS SMS GMBH;CARL ZEISS JENA GMBH |
发明人 |
PESCH, ALEXANDER;UHLENDORF, KRISTINA;KUSCHNERUS, PETER;DEPARNAY, ARNAUD |
分类号 |
G03F7/20;(IPC1-7):G02B27/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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