发明名称 | 绝缘膜之改性方法 | ||
摘要 | 本发明是藉由于绝缘膜上施予搭配组合电浆处理及热回火处理之改性处理,将该绝缘膜改性。并且提供一种将绝缘膜中所含的碳、低氧化物、悬键等所引起特性恶化的起因改善,使绝缘膜的特性向上提升的方法。 | ||
申请公布号 | TW200509256 | 申请公布日期 | 2005.03.01 |
申请号 | TW093115475 | 申请日期 | 2004.05.28 |
申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 菅原卓也;多田吉秀;中村源志;长谷部一秀;中岛滋;藤原友纪;尾崎成则;中西敏雄;佐佐木胜;松山征嗣 |
分类号 | H01L21/3105 | 主分类号 | H01L21/3105 |
代理机构 | 代理人 | 林志刚 | |
主权项 | |||
地址 | 日本 |