| 主权项 |
1.一种真空溅镀腔体防着板调整机构,其系于真空腔体内左右两侧轮轴固定座之两端各设有至少一调整机构,该调整机构包括:一防着板,其设于托盘与轮轴固定座之间,可用以阻隔镀膜分子直接沉积在真空腔体底部或传输机构表面上;一弹性元件,其设于轮轴固定座所预设的一容置凹孔中,可用以推动防着板的一端向上或向下移动;一调整螺丝,其具有一螺纹部,该螺纹部上端有一螺丝头,该调整螺丝系以螺纹部螺设于轮轴固定座所预设的螺孔上,该调整螺丝之螺丝头位于防着板上方并卡住其一端,可藉由调整螺丝的转动来调整防着板与托盘之间相对间隙(2mm-8mm)、倾斜角度及水平度。2.如申请专利范围第1项之真空溅镀腔体防着板调整机构,其中防着板系由金属材质所制成的薄板,其左右两侧可预设一些孔洞让轮轴上的O型环穿过,其表面可加设一些加强肋来提升防着板强度及劲度。3.如申请专利范围第2项之真空溅镀腔体防着板调整机构,其防着板是采用可抛弃式及可模组替换方式。4.如申请专利范围第1项之真空溅镀腔体防着板调整机构,其中弹性元件系为弹簧或弹片。5.如申请专利范围第1项之真空溅镀腔体防着板调整机构,其中调整螺丝上方螺丝头设有一字槽、十字槽或六角形凹槽。6.如申请专利范围第1项之真空溅镀腔体防着板调整机构,其可为至少四点式调整方式,即系于左右两侧轮轴固定座之两端各至少设有一调整机构,可调整防着板的位置、倾斜度及水平度。图式简单说明:图一系真空溅镀原理示意图图二系习知连续式溅渡设备作业流程示意图图三系习知无防着板设计之真空腔体立体分解图图四系习知无防着板设计之真空腔体剖面示意图图五系习知具固定式防着板设计之真空腔体立体分解图图六系习知具固定式防着板设计之真空腔体剖面示意图图七系本创作之立体分解图图八系本创作之剖面图 |
