| 摘要 |
一种用于安装半导体的设备，其包含一个接合台，其中该接合台包括一个用于提半导体晶片(6)的晶片台(5)；一个基板台(2)；以及一个具有带有晶片夹(21)的接合头(20)的拾取及置放系统(1)。晶片台(5)的一部分位于基板台(2)下面。拾取及置放系统(1)具有一个第一线性电动机(9)，它包括一个刚性设置的定子(11)和一个可以由第一导向件(16)引导沿第一方向移动的往复移动件(12)；以及第二线性电动机(10)，它包括一个刚性设置的定子(13)和一个可以沿第二方向移动的往复移动件(14)。第一线性电动机(9)的往复移动件(12)具有第二导向件(17)，该第二导向件(17)引导第二线性电动机(10)的往复移动件(14)。带有晶片夹(21)的接合头(20)设置在第二线性电动机(10)的往复移动件(14)上。 |
