发明名称 ETCHING SOLUTION, ETCHED ARTICLE AND METHOD FOR ETCHED ARTICLE
摘要
申请公布号 KR20050007613(A) 申请公布日期 2005.01.19
申请号 KR20047020797 申请日期 1999.11.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/306;H01L21/308;C09K13/08;C23F1/16;H01L21/311 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
地址