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发明名称 UV compatible programmable spatial filter
摘要
申请公布号 EP1495357(A2) 申请公布日期 2005.01.12
申请号 EP20030745648 申请日期 2003.03.28
申请人 KLA-TENCOR TECHNOLOGIES CORPORATION 发明人 WILK, DIETER, E.;TANG, ANLUN;VELLA, ERIC, N.;RUNYON, REX;SULLIVAN, JAMIE, M.;JOHNSON, RALPH, T.
分类号 G01B11/30;G01N21/956;G02B27/46;G02F1/13;(IPC1-7):G02F1/00 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
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