| 发明名称 |
Multilayer photoresist systems |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1422565(A3) |
申请公布日期 |
2005.01.05 |
| 申请号 |
EP20030257324 |
申请日期 |
2003.11.19 |
| 申请人 |
SHIPLEY COMPANY LLC |
发明人 |
BARCLAY, GEORGE G.;CAMERON, JAMES F. |
| 分类号 |
G03F7/11;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/075;G03F7/09;G03F7/26;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/09 |
主分类号 |
G03F7/11 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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