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发明名称
Verfahren zur Herstellung isolierter einkristalliner Bereiche mit geringer Nebenschlusskapazitaet im Halbleiterkoerper einer mikrominiaturisierten Schaltungsanordnung auf Festkoerperbasis
摘要
申请公布号
DE1439712(A1)
申请公布日期
1968.11.28
申请号
DE19641439712
申请日期
1964.08.08
申请人
TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGS GMBH
发明人
HANS-JUERGEN SCHUETZE,DR.;KLAUS HENNINGS,DR.
分类号
H01L21/60;H01L21/74;H01L21/762;H01L25/16;H01L27/00
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
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