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发明名称
半导体晶圆及半导体晶圆制造方法
摘要
本发明系提供一种半导体晶圆及半导体晶圆制造方法,其系可维持ID(识别)标记的高度视认性,且能够达成半导体装置的制造步骤之一贯化生产管理者。其系具备:相对之第一及第二主面12a、12b;分别设置于第一及第二主面12a、12b的外周部之第一及第二斜角部13a、13b;形成于第一斜角部13a的一部分之第一凹洞16;及附于第一凹洞的底面,由突状的第一点所构成之第一ID标记17。
申请公布号
TW200425256
申请公布日期
2004.11.16
申请号
TW092129014
申请日期
2003.10.20
申请人
东芝股份有限公司
发明人
岩濑政雄;滩原壮一
分类号
H01L21/02;B23K26/00
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
日本
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