| 发明名称 | 溅射装置 | ||
| 摘要 | 一种溅射装置，包括：腔室，使成膜对象可移动地配置；多组阴极，以极性反转的两个为一组，设置在所述腔室内；以及多个AC阴极电源，分别连接到各组阴极，在施加交流电压使各组阴极同时放电时，使各自的输出频率及相位同步，使得各组阴极的放电没有干扰。由各输出的频率和相位同步的多个AC阴极电源将电压施加在多组阴极上。因此，即使在同一腔室内相邻配置、连接到各个不同的AC阴极电源上的多个阴极同时开始放电，放电也没有不稳定地摆动。 | ||
| 申请公布号 | CN1535327A | 申请公布日期 | 2004.10.06 |
| 申请号 | CN02802068.5 | 申请日期 | 2002.07.30 |
| 申请人 | 日本板硝子株式会社 | 发明人 | 松本年之;荻野悦男;石井章聖 |
| 分类号 | C23C14/34;C23C14/40 | 主分类号 | C23C14/34 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 杜日新 |
| 主权项 | 1.一种溅射装置，其特征在于，它包括：腔室，使成膜对象可移动地配置；多组阴极，以极性反转的两个为一组，设置在所述腔室内；以及多个AC阴极电源，分别连接到各组阴极，在施加交流电压使各组阴极同时放电时，使各自的输出频率及相位同步，使得各组阴极的放电没有干扰。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||