发明名称 Substrate exposure apparatus
摘要 A substrate exposure apparatus, having a display apparatus and a control system. The display apparatus is used to display the pattern and to transfer the pattern to the photoresist, and includes a non-self luminescent display or a self-luminescent display. The control system is used to control the pattern displayed on the display apparatus.
申请公布号 US6787813(B2) 申请公布日期 2004.09.07
申请号 US20020112266 申请日期 2002.03.27
申请人 VIA TECHNOLOGIES, INC. 发明人 CHEN KUO-TSO
分类号 G03F7/20;H05K3/00;(IPC1-7):H01L33/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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