光谱偏移式奈米近接装置

摘要

本发明系有关于一种光谱偏移式奈米近接定位装置，其主要包括宽频光源、导光单元及光接收单元。宽频光源发射具有第一中心波长之宽频光至导光单元，导光单元透过一探头单元将宽频光照射待测物。待测物产生具有第二中心波长之偏移光，并经原光路返回导光单元而由光接收单元予以接收，继而光接收单元依据光谱偏移之特性曲线与第一中心波长及第二中心波长之差值，求出探头单元与待测物之距离。利用此主值来回授控制探头单元的位移驱动单元，来调整探头单元与待测物的近场距离。