晶圆装载的气体环境的控制

摘要

一种气体流量控制方法及系统。流量控制系统藉着使用一比例／积分／微分(PID)控制器来监视及控制出入一围封空间的气体位准及气体流动，以操纵出入容室的气体流动。控制器的比例项被应用于气体密度，而积分项被应用于容室压力或气体密度。气体密度只有在容室压力被保持在可接受的位准内才被调整。