Verfahren und Vorrichtung zum Extrahieren dreidimensionaler räumlicher Daten eines Objektes unter Verwendung eines Elektronenmikroskops

摘要

Es wird ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Extrahieren dreidimensionaler Daten eines Objektes unter Verwendung eines Elektronenmikroskops bereitgestellt. Das Verfahren zum Extrahieren dreidimensionaler Daten eines Objektes umfaßt: das Erfassen zweidimensionaler Koordinaten durch entsprechendes Projizieren des Objektes auf eine Ebene rechtwinklig zu einer X-Achse, auf eine Ebene rechtwinkling zu einer Y-Achse und auf eine Ebene, die in einem Winkel von 45 DEG zu einer Z-Achse in einer Y-Z-Ebene liegt; in den Bildteilen, wo drei Bilder einschließlich der zweidimensionalen Koordinaten sich überschneiden, Erfassen der Daten eines Bildelementes auf einem Basisbild unter den drei Bildern, Erfassen der Daten korrespondierender Bildelemente des Bildelementes auf dem Basisbild auf linken und rechten Bildern des Basisbildes und Berechnen einer Disparität auf Grundlage der Daten; und Extrahieren dreidimensionaler Tiefeninformationen des Objektes unter Verwendung der berechneten Disparität, wobei die dreidimensionale Tiefeninformation einen relativen Abstand des Objektes verkörpert, und Extrahieren einer dreidimensionalen Koordinate an jedem Bildelement, um eine dreidimensionale Position des Objektes zu bestimmen.