发明名称 Process for forming a silicon-germanium base of a heterojunction bipolar transistor
摘要
申请公布号 EP1132954(A3) 申请公布日期 2004.02.18
申请号 EP20010300208 申请日期 2001.01.10
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 HUANG, FENG-YI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/165;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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