| 主权项 |
1.一种包括在一下载埠总成上之位置补偿总成,其中该下载埠总成系用以在一舱体于一舱体前进板上朝向下载埠前进之后,于一安装在下载埠总成上之舱体与一与下载埠总成相连结之处理工具之间经由一下载埠来输送工件,该下载埠总成系包括一具有一正面之埠门,且该舱体系包括一舱门及一舱壳,该舱门系包括一面向该埠门正面之正面,该位置补偿总成系包括:一感应器系统,其系用以在舱体于舱体前进板上开始朝向埠门前进之后,侦测在埠门之正面与舱门之正面之间的间距;以及用以根据该感应器系统所侦测到之间距,而调整埠门与舱门之至少其中一者之位置的装置。2.根据申请专利范围第1项之位置补偿总成,其中当舱体朝向埠门前进时,该感应器系统系可动态地侦测该间距。3.一种包括在一下载埠总成上之位置补偿总成,其中该下载埠总成系用以在一舱体于一舱体前进板上朝向下载埠前进之后,于一安装在下载埠总成上之舱体与一与下载埠总成相连结之处理工具之间经由一下载埠来输送工件,该下载埠总成系包括一具有一正面之埠门,且该舱体系包括一舱门及一舱壳,该舱门系包括一面向该埠门正面之正面,该位置补偿总成系包括:一感应器系统,其系用以在舱体于舱体前进板上开始朝向埠门前进之后,侦测在埠门之正面与舱门之正面之间的间距;以及一控制器,其系用以根据该感应器系统所侦测到之间距,而调整埠门与舱门之至少其中一者之位置。4.根据申请专利范围第3项之位置补偿总成,其中当舱体朝向埠门前进时,该感应器系统系可动态地侦测该间距。5.一种包括在一下载埠总成上之位置补偿总成,其中该下载埠总成系用以在一舱体于一舱体前进板上朝向下载埠前进之后,于一安装在下载埠总成上之舱体与一与下载埠总成相连结之处理工具之间经由一下载埠来输送工件,该下载埠总成系包括一具有一正面之埠门,且该舱体系包括一舱门及一舱壳,该舱门系包括一面向该埠门正面之正面,该位置补偿总成系包括:一柱塞,其具有安装在埠门中之第一部分及一可以突伸超过埠门之正面的第二部分,该柱塞系可以在该柱塞之第二部分与舱门之正面之间相接触之后,沿着垂直于埠门正面的方向上平移;一感应器,其系用以侦测该柱塞相对于埠门之位置;以及一控制器,其系用以根据该感应器所侦测到之柱塞位置,而调整埠门与舱门之至少其中一者之位置。6.根据申请专利范围第5项之位置补偿总成,其中该感应器系包含一电阻感应电路。7.根据申请专利范围第6项之位置补偿总成,其中该电阻感应电路系包含一电位计,该电位计系包括一可与该柱塞一起移动之电阻变动致动器。图式简单说明:图1系一习知300毫米正面开口型SMIF舱体之立体视图;图2系一习知下载埠总成之立体视图,其中该总成系包括一对闩锁钥匙,其可以插入至舱门之各别凹槽中;图3系习知的埠门及安装在舱体前进板上之舱门的侧视图,其中显示舱门前进至埠门之前的状态;图4系本发明之下载埠总成的立体视图,其中显示该位置补偿总成之一部分;图5系一切开侧视图,其中显示依照本发明在一下载埠总成之埠门中之位置补偿总成;图6A系一埠门之侧视图,其中显示其原点位置,以及在埠门与前进之舱门之间之间距;图6B系图6A之埠门的侧视图,其中该埠门系在其朝向舱门而延伸出于下载埠之补偿位置;图7A系一埠门之侧视图,其中显示其原点位置以及一朝向埠门前进之舱体;图7B系图7A之埠门的侧视图,其中该埠门系位在其延伸进入下载埠而远离舱门之补偿位置;图8系类似于图4之立体视图,但包括依照本发明之位置补偿总成的另一设计;图9系类似于图4之立体视图,但包括依照本发明之位置补偿总成又另一设计;图10系类似于图4之立体视图,但包括依照本发明之位置补偿总成再另一设计;以及图11系本发明之另一实施例,其中除了前后移动埠门以外,其尚可调整埠门之平面性。 |
