| 摘要 |
<p>Beschrieben wird ein Korrektor mit gerader optischer Achse zur Beseitigung des Farbfehlers und des Öffnungsfehlers von teilchenoptischen Linsen, der mit Multipolelementen in Form elektrischer und/oder magnetischer Quadrupol- und Oktopolelemente ausgestattet ist. Erfindungsgemäß wird vorgeschlagen, wenigstens zwölf Quadrupolelemente und zehn Oktopolelemente vorzusehen, von denen je drei Quadrupolelemente und zwei Oktopolelemente zu einer Gruppe zusammengefasst sind. Die Gruppen sind entlang der optischen Achse hintereinander angeordnet, wobei zwischen erster und zweiter Gruppe eine erste, zwischen zweiter und dritter Gruppe eine zweite und zwischen dritter und vierter Gruppe eine dritte Symmetrieebene definiert ist. Die Multipolelemente von Gruppe zu Gruppe entsprechen sich jeweils paarweise, wobei die Multipolelemente der jeweils folgenden Gruppe jeweils in umgekehrter Reihenfolge entlang der optischen Achse positioniert sind wie die entsprechenden Multipolelemente der jeweils vorangehenden Gruppe. Der Aufbau und die Brechkräfte der einander entsprechenden Multipolelemente sind jeweils spiegelsymmetrisch zur jeweiligen Symmetrieebene zwischen den Gruppen ausgebildet. Von den genannten Quadrupolelementen erzeugen wenigstens zwei elektrisch-magnetische Quadrupolfelder, wobei diese Quadrupolelemente vorzugsweise spiegelsymmetrisch zur zweiten oder zu allen Symmetrieebenen angeordnet sind. Zusätzlich zu den genannten Oktopolelementen ist jeweils ein weiteres derartiges Element in der ersten und dritten Symmetrieebene vorgesehen. Der Korrektor ermöglicht die Übertragung ausgesprochen grosser Bildfelder bei gleichbleibender optischer Qualität, da auch die ausseraxialen Bildfehler korrigiert werden können.</p> |
