| 发明名称 |
CONTACT STRUCTURE AND PRODUCTION METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG96197(A1) |
申请公布日期 |
2003.05.23 |
| 申请号 |
SG20010000625 |
申请日期 |
2001.02.02 |
| 申请人 |
ADVANTEST CORPORATION |
发明人 |
KHOURY, THEODORE A.;ALDAZ, ROBERT EDWARD |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R1/067;G01R1/073;G01R3/00;H01L21/66;H01R13/24;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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