| 发明名称 | 通过红外辐射的快速和均匀加热衬底的装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种加热装置，包括用于在具有透明窗口(34)的反应室(14)内侧提供衬底(12)的快速热处理的红外辐射灯(24、16)。红外辐射灯(24、26)分布在两个重叠的工作台(A、B)上，工作台在衬底(12)的共同一侧上延伸，下工作台(A)的灯(24)相对于上工作台(B)的灯(26)垂直布置，调节用于灯的每个单元的能量输入的装置在衬底(12)的边缘上提供了比中心更多的热量。反射器(36)被构造为分布栅格(38)，其设计成反射红外辐射，以控制不同加热区域之间的能量比率。从而，衬底(12)被均匀地加热，而不论其几何形状和尺寸如何。 | ||
| 申请公布号 | CN1404623A | 申请公布日期 | 2003.03.19 |
| 申请号 | CN01803119.6 | 申请日期 | 2001.10.12 |
| 申请人 | 电子产品联合工业加工公司 | 发明人 | 勒内·P·达克里特;弗兰克·拉波特;贝努特·皮尔瑞特;巴奇尔·塞马克 |
| 分类号 | H01L21/00 | 主分类号 | H01L21/00 |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 魏晓刚;李晓舒 |
| 主权项 | 1.一种衬底(12)的加热装置，包括红外辐射灯(24、26)，其被设计为在封闭的反应室(14)内进行衬底的快速热处理，封闭的反应室包括透明窗口(34)，所述红外辐射穿过该窗口，其特征在于：红外灯(24、26)布置在两个重叠的工作台(A、B)上，工作台在衬底(12)的单独一侧上延伸，下工作台(A)的灯(24)相对于上工作台(B)的灯(26)垂直布置；用于调节各组灯(24、26)的供给能量的装置确保了在衬底(12)边缘上的加热强于在衬底中央的加热；并且，一个分布栅格(38、138)形式的反射器(36、136)设计成反射并引导红外辐射，以控制不同加热区域之间的能量比率。 | ||
| 地址 | 法国萨尔特河畔努瓦扬 | ||