半导体电路用光掩模的订货方法

摘要

本发明的任务是提供在订货时不要制订对每个掩模的订货书的订货方法。其解决手段是:把半导体制造者制造的多个半导体电路中使用的光掩模5的规格按级别体系化20,一批传送到掩模厂,并预先储存在掩模厂的存储器内,同时,在光掩模订货时只把与半导体电路对应的掩模名和规格的级别30通过互联网传送,而把与掩模名对应的描图用数据2和配置信息数据3通过别的电路传送。

主权项

1.掩模的订货方法，其特征为，在半导体制造者在半导体器件制造时使用的掩模经互联网在掩模厂订货的方法中，把多个掩模的规格与其掩模等级对应储存在掩模厂的存储器内，在掩模订货时，把订货的掩模的掩模名和表示该掩模级的记号经互联网从半导体制造者传送到掩模厂的同时，需要由互联网传送该掩模描图用的数据和配置信息数据。