| 发明名称 |
Improvements in or relating to the fabrication of semiconductor devices |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0753764(B1) |
申请公布日期 |
2002.10.23 |
| 申请号 |
EP19960111356 |
申请日期 |
1996.07.15 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED |
发明人 |
CHAPMAN, RICHARD ALEXANDER |
| 分类号 |
G03F7/26;G02B1/11;G03F7/09;G03F7/40;H01L21/027;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/027;H01L21/268 |
主分类号 |
G03F7/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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