发明名称 Cryopump
摘要
申请公布号 EP0921311(B1) 申请公布日期 2002.10.16
申请号 EP19990104586 申请日期 1995.04.26
申请人 EBARA CORPORATION 发明人 NOJI, NOBUHARU;HAYAKAWA, JUNICHI;SATOH, MOTOYASU;AONO, HIROSHI;KOMAI, TETSUO
分类号 F04B37/08;F04B49/06;(IPC1-7):F04B37/08 主分类号 F04B37/08
代理机构 代理人
主权项
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