| 发明名称 |
Endpoint Detection in the Etching of Dielectric Layers |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IE20010288(A1) |
申请公布日期 |
2002.10.02 |
| 申请号 |
IE20010000288 |
申请日期 |
2001.03.23 |
| 申请人 |
SCIENTIFIC SYSTEMS RESEARCH LIMITED |
发明人 |
JOHN SCANLAN;MICHAEL HOPKINS |
| 分类号 |
H01L21/311;H01L21/768;(IPC1-7):H03M7/00;H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/311 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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