| 主权项 |
1.一种电力供应单元,其用于供电给溅镀室(1)中的 电浆放电(PL),其包括: ●至少高频发电机(5), 其特征为: 此高频发电机(5)包括一控制式切换单元(13),借助 于它在一个在高频发电机(5)的输出端(5a)上所产生 的高频电源信号,至少在第一时期(tA)被停止,其在 基本上短位于第二时期(tB),在此期间此高频电源 信号在上述输出端上存在。2.如申请专利范围第1 项之电力供应单元,其中此控制式切换单元(13)具 有一控制输入端(13s),其与火花侦测单元(60)之输出 端相连接。3.如申请专利范围第1或2项之电力供应 单元,其中此高频发电机(5)具有一电源供应单元(7) ,其输出端(7a)与高频振荡器(9)连接,其中此控制式 切换单元(13)是设置介于高频发电机(5)之电源单元 (7)的输出端(7a)与发电机(5)之输出端(5a)之间。4.如 申请专利范围第2项之电力供应单元,其中此火花 侦测单元(60)包括直流电位测量单元,其输出端是 与一较佳可调整式临界値侦测单元(62)之输入端相 连接,其输出端与控制输入端(13s)相连接。5.如申 请专利范围第1项之电力供应单元,其中此第一时 间期间(tA)最高是40微秒(s),较佳最高是30微秒 (s)。6.如申请专利范围第2项之电力供应单元,其 中此从火花侦测单元(60)所触发信号的发生,一直 至触发此第一时间期间(tA),最高是50微秒 (sec),较佳最高是30微秒(sec)。7.如申请专利范 围第4项之电力供应单元,其中此从火花侦测单元( 60)所触发信号的发生,一直至触发此第一时间期间 (tA),最高是50微秒 (sec),较佳最高是30微秒(sec)。8.如申请专利范 围第2项之电力供应单元,其中此控制式切换单元 以此方式形成单调稳定单元,其将此高频电源信号 ,经由火花侦测单元(60)之输出端上的侦测信号而 触发,其用于将较佳是可调整的时间期间(tA)停止 。9.如申请专利范围第2项之电力供应单元,其中此 控制式切换单元之控制输入端与无载运载的时脉 单元(15)相连接,其在此第一时间期间(tA),将高频电 源信号反覆地停止。10.如申请专利范围第8项之电 力供应单元,其中此控制式切换单元之控制输入端 与无载运载的时脉单元(15)相连接,其在此第一时 间期间(tA),将高频电源信号反覆地停止。11.如申 请专利范围第1项之电力供应单元,其中另外设有 直流(DC)发电机(25),其输出端信号重叠至高频发电 机(5)之输出端的信号。12.如申请专利范围第3项之 电力供应单元,其中另外设有直流(DC)发电机(25),其 输出端信号重叠至高频发电机(5)之输出端的信号 。13.如申请专利范围第11项之电力供应单元,其中 此直流(DC)发电机(25)包括一控制式切换单元(33),借 助于它一个在直流发电机(25)的输出端上所产生的 直流(DC)电源信号,至少在第三时期(tC)中被停止,其 在基本上短于第四时期(tD),在此期间此直流(DC)电 源信号存在于上述输出端上。14.如申请专利范围 第11或13项之电力供应单元,其中此直流发电机(25) 之切换单元(33)之控制输入端(33s),是与火花侦测单 元(60)之输出端相连接。15.如申请专利范围第2项 之电力供应单元,其中此高频发电机(5)之控制式切 换单元(13)之控制输入端(13s),与直流发电机(25)之 控制式切换单元(33)之控制输入端(33s),须经由时间 产生单元(15,43,35)连接,使得第三时期(tC)在第一时 期(tA)之前开始,并且在第一时期(tA)之前或之后,较 佳是之前结束。16.如申请专利范围第11项之电力 供应单元,其中此直流发电机(25)包括"Abvanced Energy Co."之"顶点"("Pinnacle")式的直流电源。17.如申请专 利范围第13项之电力供应单元,其中此直流发电机( 25)包括"Abvanced Energy Co."之"顶点"("Pinnacle")式的直 流电源。18.一种溅镀装置,其具有一真空室(1)与一 电浆放电线段(PL),其特征为: 此电浆放电线段(PL)是连接至电源单元(3),其用用 于如申请专利范围第1至13项中任一项之电浆放电 线段之电力供应。19.如申请专利范围第18项之溅 镀装置,其中它形成作为溅镀涂层装置,并且其包 括电浆放电电极之金属氧化物靶,较佳是铟锡氧化 物(ITO)靶。20.如申请专利范围第18或19项之溅镀装 置,其中它是电浆放电电极之磁控管电极。21.一种 将溅镀时所形成之火花减少之方法,其中借助于至 少一起供应高频能量而作电浆放电(PC),其特征为: 将此电浆放电之高频电源短时间(tA)的中断。22.如 申请专利范围第21项之方法,其中由于侦测(60)在室 (1)中火花的产生,而将高频(HF)电源短时间(tA)的停 止。23.如申请专利范围第21或22项之方法,其中此 高频(HF)电源没有停止高频发电机(5)的电力供应(7) ,而将高频电源的产生停止。24.如申请专利范围第 22项之方法,其中此火花产生藉由测量在电浆放电 上的直流(DC)电位而侦测。25.如申请专利范围第23 项之方法,其中此高频(HF)电源是在最高是40微秒( s),较佳是在最高30微秒(s)的期间中停止。26. 如申请专利范围第22项之方法,其中从火花产生的 侦测开始,此高频电源在最高50微秒(s)之后,较佳 是在最高30微秒(s)之后停止。27.如申请专利范 围第23项之方法,其中将此高频电源反覆地停止,较 佳是周期性地停止。28.如申请专利范围第25项之 方法,其中将此高频电源反覆地停止,较佳是周期 性地停止。29.如申请专利范围第21项之方法,其中 此电浆放电额外地借助于直流电源(25)而供应。30. 如申请专利范围第29项之方法,其中此直流(DC)电源 被短时间地停止。31.如申请专利范围第30项之方 法,其中此直流(DC)电源由于侦测到火花的产生而 停止。32.如申请专利范围第30或31项之方法,其中 将此直流电源在高频电源之前停止。33.如申请专 利范围第32项之方法,其中此直流(DC)电源在高频电 源之前或之后,较佳是之前,再度供应。34.一种以 溅镀法制造元件之方法,其中此溅镀电浆放电之电 源至少具有高频(HF)成份,其特征为:将此高频电源 成份短时间地停止,以控制火花的产生或自动地重 覆。图式简单说明: 第1图显示在根据本发明之第一实施形式之电源单 元之功能块/信号流程图的形式中,在根据本发明 的方法中运作,在根据本发明的装置上制造,而具 有无载运转之火花防止功能。 第2图显示在类似于第1图的说明中,具有直流(DC)与 高频(HF)电源之进一步的发展。 第3图显示由在第1图中所说明的技术而产生,具有 火花产生以控制电源停止的功能; 第4图显示根据第2图的技术而产生,用于火花产生 触发电源切断之实施形式; 第5图显示根据第4图所说明的技术之另外一个实 施形式。 |
