| 摘要 |
<p>본 발명은 자외선 광을 노출시켜 기판 디스크(3)를 건조하기 위한 장치에 관한 것이다. 유리판(11)은 건조 처리동안 기판 디스크(3)상에 놓인다. 본 발명의 목적은 다루기 쉬운 장치로 기판 디스크의 최저 손실 및 보다 개선된 품질을 보장하기 위한 간단한 기술적 수단을 제공하는 것이다. 이 때문에, 본 장치는 유리판을 기판 디스크(3) 위에 내려놓기 위해 상승 및 하강할 수 있는 상위부(6)를 가지며, 기판 디스크는 하위부(23)에 놓인다.</p> |
