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发明名称 SELF-ALIGNED CMOS PROCESS
摘要
申请公布号 EP0715769(B1) 申请公布日期 2002.03.06
申请号 EP19940923248 申请日期 1994.06.24
申请人 NATIONAL SEMICONDUCTOR CORPORATION 发明人 DEMIRLIOGLU, ESIN, KUTLU;ARONOWITZ, SHELDON
分类号 H01L21/225;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8222;H01L21/8238;H01L21/8248;H01L27/06;H01L27/092;H01L29/423;H01L29/45;H01L29/49;(IPC1-7):H01L21/225;H01L21/82 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
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