发明名称 AN APPARATUS AND METHOD TO TRANSPORT, INSPECT AND MEASURE OBJECTS AND SURFACE DETAILS AT HIGH SPEEDS
摘要
申请公布号 KR20010089524(A) 申请公布日期 2001.10.06
申请号 KR1020017006764 申请日期 2001.05.30
申请人 发明人
分类号 G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
地址