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发明名称 Verfahren zur Herstellung von Strontiumtitanat-Dünnfilmen
摘要
申请公布号 DE4238678(C2) 申请公布日期 2001.09.20
申请号 DE19924238678 申请日期 1992.11.17
申请人 MURATA MFG. CO., LTD. 发明人 ABE, YOSHIO;HAMAJI, YUKIO;SAKABE, YUKIO
分类号 C01G23/00;C23C18/12;H01B3/00;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):C04B35/47;H01G4/12 主分类号 C01G23/00
代理机构 代理人
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