| 摘要 |
<P>L'invention concerne un procédé permettant de commander l'oxydation d'une couche (190) contenant une matière oxydable qui s'étend dans un plan transversal d'un laser à émission en surface à cavité verticale noté VCSEL, lequel comprend en outre un substrat (101), des empilements de Bragg (109) et (127), une région active (117) et une région de contact (132). Le procédé effectue une implantation sélective d'ions dans des régions transversalement séparées de la couche (190) afin de modifier la concentration en la matière oxydable dans les régions transversalement séparées. Ensuite, on oxyde la couche, le degré d'oxydation de la couche variant suivant la direction transversale entre les régions implantées (190a) et les régions non implantées (190b) de la couche. L'invention concerne également le laser ainsi réalisé.</P>
|
