发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR DRYING AND CLEANING OBJECTS USING AEROSOLS |
摘要 |
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申请公布号 |
IL126189(A) |
申请公布日期 |
2001.08.08 |
申请号 |
IL19970126189 |
申请日期 |
1997.03.13 |
申请人 |
ALL IN ONE MICROSERVICE, INC. |
发明人 |
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分类号 |
B08B3/10;B08B3/12;F26B5/00;F26B5/02;F26B21/14;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):B08B5/00 |
主分类号 |
B08B3/10 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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