| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung von Siliziumnitrid-Filmen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1771538(A1) |
申请公布日期 |
1971.12.23 |
| 申请号 |
DE19681771538 |
申请日期 |
1968.06.06 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INC. |
发明人 |
ELWOOD BEAN,KENNETH;STANLEY GLEIM,PAUL |
| 分类号 |
C04B41/87;C01B21/068;C23C16/34;G02B1/10;H01B3/12;H01G4/33;H01L21/318;H01L31/02;H01L31/0216 |
主分类号 |
C04B41/87 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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